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　　與上海微電子裝備集團達成戰(zhàn)略合作協(xié)議 打破外商壟斷關鍵制程設備的局面

　　2017年4月25日，中國蘇州——作為市場領先的濕制程領導設備商，Manz亞智科技憑借30多年的豐富經(jīng)驗及超過3,000臺的設備銷售實績，為顯示器及觸控面板產(chǎn)業(yè)提供生產(chǎn)制程全方位解決方案。為突破目前國內(nèi)顯示器生產(chǎn)制程中的曝光機及Track Line等關鍵設備幾乎被國外廠商所壟斷的局面，Manz亞智科技宣布與上海微電子裝備(集團)股份有限公司（以下簡稱上海微電子）簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議。根據(jù)合作協(xié)議，未來上海微電子在國內(nèi)提供黃光微影制程解決方案，將結合其曝光機與Manz Track Line解決方案，攜手拓展國內(nèi)顯示器面板 Array 段的黃光微影制程生產(chǎn)設備市場。

　　近年來，國內(nèi)平板顯示產(chǎn)業(yè)在國家政策的持續(xù)支持下，已實現(xiàn)了技術和產(chǎn)業(yè)規(guī)模的多種突破，快速掘起成為世界平板顯示產(chǎn)業(yè)的重要一環(huán)。在TFT設備生產(chǎn)和研發(fā)方面，雖然國內(nèi)投入巨資開工建設了多條高世代面板線，然而固定投資資金約60％左右都花在了設備購買上，而主要制程設備則從日韓等國家進口，國產(chǎn)設備研發(fā)之路依舊任重道遠。

　　Manz亞智科技與國內(nèi)著名的半導體設備制造公司-上海微電子簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，正是共同創(chuàng)新、實現(xiàn)技術突破并積極響應國家號召“以創(chuàng)新引領實體經(jīng)濟轉型升級”的具體體現(xiàn)。雙方將就顯示器面板 Array 段的黃光微影制程生產(chǎn)設備結成長期戰(zhàn)略合作關系，旨在打破國內(nèi)市場上關鍵設備需依靠進口的局面。未來，上海微電子的曝光機將結合Manz Track Line解決方案，攜手拓展國內(nèi)顯示器面板 Array 段的黃光微影制程生產(chǎn)設備市場份額。目前，Manz G4.5 Track Line 相關設備已裝機于上海微電子研發(fā)廠內(nèi)，包括清洗設備、涂布設備、顯影設備及自動化軟硬件設備，將提供客戶做樣品測試及驗證。

　　上海微電子作為國內(nèi)著名的半導體設備制造商，主要致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設計、制造、銷售及技術服務，其設備廣泛應用于集成電路前道、先進封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領域。其研發(fā)生產(chǎn)之曝光機為ARRAY段黃光微影制程的關鍵設備, 分辨率高達2um以下，并已通過客戶的生產(chǎn)驗證。 該曝光機仍不斷進行技術精進與研發(fā)，目前已達成1.5um分辨率技術研發(fā)。

　　Manz Track Line 解決方案之關鍵設備精密涂布設備，擁有出色的膜厚均一性≤3%。光阻涂布在黃光微影制程中亦是影響 Array 段制程的關鍵之一，光阻涂布的均勻性及用量，都關系著面板良率及生產(chǎn)成本。Manz亞智科技自主研發(fā)的精密涂布設備采取了狹縫式涂布，能針對不同的流體進行涂刀內(nèi)部流道分析及設計，并采用直接驅動的自有注射泵及供液系統(tǒng)，有效控制光阻的膜厚均勻度≤3%。

　　圖一：Manz Track Line解決方案之關鍵設備，精密涂佈機，擁有出色的膜厚均一性≤3%（圖片來源：Manz 亞智科技）

　　上海微電子將曝光機臺、Track Line、長短寸及膜厚量測機臺整合在一起，并進一步連接各設備之間的軟硬件，優(yōu)化各機臺的運行參數(shù)，結合定制化光阻，為客戶提供完整的、高分辨率、高效率黃光微影制程解決方案。

　　通過此次Manz亞智科技與上海微電子的戰(zhàn)略合作，不僅能夠實現(xiàn)設備生產(chǎn)的國產(chǎn)化，從研發(fā)、材料、生產(chǎn)到服務全部本地化，更將打破目前國內(nèi)關鍵設備生產(chǎn)被外商所壟斷的局面。此舉將能快速響應面板制造商日新月異的需求，提供定制化的服務，還可以有效地降低設備購置成本及運送成本，未來更好的進一步服務本地客戶。此次合作，也意味著Manz亞智科技未來將把技術研發(fā)的觸角伸進半導體領域。

　　Manz亞智科技暨顯示器事業(yè)部總經(jīng)理林峻生表示：“身為濕制程領導設備商，Manz 亞智科技30多年來不斷致力于技術突破和創(chuàng)新。由濕制程技術跨足到以精密涂布為關鍵的Track Line解決方案，核心技術的整合與擴充應用是我們主要的發(fā)展方向。通過與上海微電子的戰(zhàn)略合作對我們而言無疑是一大助力，將結合雙方資源，掌握顯示器面板黃光微影生產(chǎn)制程的關鍵技術與設備，共同打破關鍵制程設備需仰賴進口的瓶頸，使設備國產(chǎn)化、更貼近市場，從而以本地化的服務及生產(chǎn)成本，更好地服務本地客戶。這項戰(zhàn)略合作是一個良好的開端，未來在半導體產(chǎn)業(yè)也將會有更進一步的合作?！毕肓私飧嚓P于Manz為顯示器關鍵制程所提出的Track Line解決方案，請造訪Manz 亞智科技位于2017上海國際全觸與顯示展（C-Touch Shanghai 2017）的展位。

　　日期：2017年4月25日 (周二) ~ 2017年4月27日 (周四)

　　時間：09:00 AM~04:30 PM

　　地點：上海世博展覽館二號館 /上海市浦東新區(qū)國展路1099號

　　展位：2B11